NEW PRODUCT新製品情報
NEW PRODUCTKSG® Concept
KSG®は、お客様の課題解決と、持続可能な社会の実現というコンセプトのもと、関東電化独自の技術から生まれました。
KDK Technology関東電化の技術
当社コア技術
当社は、コア技術である「電解技術」及び「フッ素化技術」をベースに、強みとする「塩素化技術」「微細化技術」「高純度化技術」「有機・無機合成技術」「コーティング技術」「重合技術」などに関する独創的な技術を発展させ、構築してきました。
KSG®
当社は、半導体産業の技術トレンドや顧客ニーズに対して当社の強みである化学合成技術、ガス評価技術に、マテリアルズインフォマティクスを組み合わせ、新規材料の開発を行っています。
このような関東電化独自の技術によって生まれたKSG®は「半導体製造プロセスに対する高い性能」と「低温室効果(低GWP)」の両方を実現します。
High Performance高性能
近年先端半導体デバイスは、高性能化、低消費電力化に向けて微細化が進むとともに、3次元構造化が進んでいます。このため、半導体製造プロセスの難易度が跳ね上がり、プロセスタイムも増大しています。
当社が開発したKSG®は、半導体製造におけるCVDプロセスやエッチングプロセスを改善し、先端半導体デバイスの微細化や、スループットの向上に貢献します。
Sustainability低環境負荷
半導体製造プロセスに使用されるガス材料は一般的に高い温室効果(GWP)を有しており、半導体需要の増加とともに、地球温暖化への影響が大きくなっています。
KSG®はGWPが低いという特徴があり、地球温暖化への影響を最小限に抑えるとともに、半導体製造の効率化によってエネルギー消費の削減にも寄与します。