KSG® コンセプト
Concept
というコンセプトのもと、
関東電化独自の技術から生まれました。
関東電化の技術
KDK Technology
当社コア技術
当社は、コア技術である「電解技術」「フッ素化技術」「粒子制御技術」をベースに、強みとする「塩素化」「微細化」「高純度化」「有機・無機合成」「コーティング」「重合」などに関する独創的な技術を発展させ、構築してきました。
KSG®
当社は、半導体産業の技術トレンドや顧客ニーズに対して当社の強みである化学合成技術、材料評価技術に、マテリアルズインフォマティクスを組み合わせ、新規材料の開発を行っています。
このような関東電化独自の技術によって生まれたKSG®は「低温室効果（低GWP）」と「半導体製造プロセスに対する高い性能」の両方を実現します。
低環境負荷
Sustainability半導体製造プロセスに使用されるガス材料は一般的に高い温室効果（GWP）を有しており、半導体需要の増加とともに、地球温暖化への影響が大きくなっています。
KSG®はGWPが低いという特徴があり、地球温暖化への影響を最小限に抑えるとともに、半導体製造の効率化によってエネルギー消費の削減にも寄与します。
高性能
Great Performance近年先端半導体デバイスは、高性能化、低消費電力化に向けて微細化が進むとともに、3次元構造化が進んでいます。このため、半導体製造プロセスの難易度が跳ね上がり、プロセスタイムも増大しています。
当社が開発したKSG®は、半導体製造におけるCVDプロセスやエッチングプロセスを改善し、先端半導体デバイスの微細化や、スループットの向上に貢献します。
製品一覧
ProductsKSG®開発品
当社は、お客様の様々なご要望に応じ、高性能かつ低環境負荷の特殊材料をKSG®シリーズとして開発し、製造・販売しています。
- エッチングガス（HARエッチング、等方性エッチング、クライオエッチング、低GWP等）
- クリーニングガス（低GWP）
- 成膜材料（W、Mo、Nbなどのハロゲン化物、有機金属材料）
- その他半導体・FPD製造工程向け材料