KSG-5

半導体は私たちの便利な生活を支えています。
しかし、その製造には環境影響の大きなものも使われています。
便利な生活を守りつつ、環境にも配慮したい…

KSG-5は、環境影響の小さいエッチングガスとして、半導体の製造と私たちの生活を守ります。

エッチング性能

Etching Performance

KSG-5は、シリコン含有膜に対してCF₄、CHF₃同等のエッチング性能を有し、一方、マスク材料のエッチングは抑制する性能を有しています。

Environmental Performance

KSG-5はCF₄、CHF₃に比べ圧倒的にGWPが低く、さらに、半導体製造プロセスから排気される、プロセスガス由来の温室効果ガスを大幅に削減できます。