概要

カンデンエフトールPFC化学熱分解システムは、半導体・液晶製造装置から排出されるPFC含有排ガスから窒素を低エネルギーで分離し、凝縮したPFCを効率良く連続的に分解します。
乾式排ガス処理装置、PFC凝縮装置およびPFC分解装置で構成され、これらを連動させることで高効率で安全性の高い分解処理を行います。

特長

• ・PFC分解は化学熱分解方式のため安全にご使用頂けます。
• ・PFC中の最も分解しにくいCF4を低温で効率よく分解します。
• ・排ガスから分離した窒素は、そのままリサイクルまたは大気放出できます。
• ・大流量の排ガスにも対応できます。

ユーティリティー（システム全体）

システム構成

• ・乾式排ガス処理装置 「エフトール A型」　エッチングの過程で副生するSiF4、HFなどの有害性物質を除去します。
• ・PFC濃縮装置 「エフトール S100型」　膜分離により大部分のN2を分離し、PFCを濃縮します。
• ・PFC分解装置 「エフトール TN型」　化学熱分解により、PFCを低温で効率よく分解します。

システムフロー図