シリーズ別ラインナップ
エフトール PFCプラズマ分解システム
概要
カンデンエフトールPFCプラズマ分解システムは、半導体・液晶製造装置から排出されるPFC含有排ガスを、低エネルギーで効率良く分解処理します。
PFCガスを分解する「プラズマ分解装置」、分解後のガスを処理する「乾式排ガス処理装置」により、高効率で安全性の高い分解処理を行います。
特長
- ・PFC分解はプラズマ方式のため、予備運転不要で安全にご使用頂けます。
- ・PFCの中で難分解なCF4も効率よく分解処理します。
- ・ガス導入時のみプラズマ発生が可能なため、省エネルギーです。
- ・乾式処理のため廃液処理が不要です。
- ・不燃性の特殊薬剤を使用しており安全です。
標準仕様
| 型式 | PFCプラズマ分解システム 真空分解＋大気圧吸着 |
PFCプラズマ分解システム 真空分解＋真空吸着 |
|---|---|---|
| 最大流量 | プロセスガス CF4 200sccm 真空ポンプバラスト 30SLM |
プロセスガス CF4 200sccm 真空ポンプバラスト ―SLM |
| 寸法 | 500㎜W×500㎜D×1700㎜H | 700㎜W×700㎜D×1920㎜H |
| 総重量 | 約240Kg | 約420Kg |
| 接続 | NW50（＊） | NW50（＊） |
| 対象ガス | PFC類含有排ガス | PFC類含有排ガス |
- （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
- ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
ユーティリティー
| 型式 | PFCプラズマ分解システム 真空分解＋大気圧吸着 |
PFCプラズマ分解システム 真空分解＋真空吸着 |
|---|---|---|
| 電気 | AC100V／5A AC200V／18A |
AC100V／5A AC200V／18A |
| 冷却水 | 5～35℃ 2ℓ/min | 5～35℃ 2ℓ/min |
| 酸素 | － | 0.2ℓ/min |
| 筐体排気 | 1m³/min | 1m³/min |
システム構成
- ・「プラズマ分解装置」 真空ポンプ1次側でPFCを分解します。
- ・「乾式排ガス処理装置」 2次側で分解後の排ガスを処理します。
システムフロー図
- 【システム別ラインナップ】
- PFCプラズマ分解システム
- PFC化学熱分解システム
- MOCVD排ガス処理システム