概要

カンデンエフトール「Vフィルター＆MH型」は、強誘電体・高誘電体・電極用メタル薄膜形成時などのMOCVD装置からの排ガス処理において金属化合物を減圧下で「Vフィルター」にて捕捉し、有機溶媒を「MH型」で酸化分解して無害化します。

特長

・Vフィルター

有機金属及び金属酸化物を高コンダクタンスの真空フィルターで効率よく除去します。
減圧系に設置でき、真空ポンプのトラブル、配管の目詰まり回避に有用です。
併設する処理装置への負荷を低減します。

・MH型

高性能触媒を使用することで、低温で処理できます。
触媒反応により排ガス中の有機溶媒をCO2とH2Oに酸化分解します。
電気ヒーターによる加熱のため安全にご使用いただけます。
量産機に対応し、安全対策も充実しております。

標準仕様

• （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。

ユーティリティー

システム構成

• ・「Vフィルター」　減圧系でフィルターによる捕捉
• ・「MH型」　触媒による酸化分解