【プラズマ分解方式】
半導体製造装置からのPFC含有排ガスを、低エネルギーで効率良く分解処理。前段「プラズマ処理装置」でPFCを分解し、後段「乾式処理装置」で分解後の処理をおこなう安全性の高い処理システム。

【Vフィルター&MH型】
強誘電体・高誘電体・電極用メタル薄膜製造時のMOCVD装置の排ガス処理に最適。金属化合物をVフィルターで捕捉し有機溶媒をMH型で酸化分解し無害化する処理システム。