シリーズ別ラインナップ
エフトール SC型
概要
カンデンエフトールSC型は、半導体・液晶製造装置のメンテナンス時に発生する有毒ガスを内蔵ブロワーで吸引し、処理カラムにて処理をおこない、作業環境の悪化を防止します。常温での物理吸着により排ガス中の毒性ガスを許容濃度以下にします。
半導体分野以外でもメンテナンス時等に有毒ガスが発生する場所で使用が可能です。
特長
- ・コンパクトな装置のため、有毒ガスが発生する場所に持ち込んで使用出来ます。
- ・不燃性薬剤を使用した安全性の高い装置です。
- ・メンテナンス時期が確認できるインジケータを装備しています。
- ・キャスター付きで、移動が楽に行えます。
- ・多種類のガス処理が可能です。
標準仕様
| 型式 | SC型 |
|---|---|
| 最大流量 | 600ℓ/min |
| 寸法 | 340㎜W×500㎜D×970㎜H |
| 総重量 | 約40Kg |
| 接続 | NW25 |
| 対象ガス | 酸性・酸化性ガス |
- ※エフトールSC型では、PFCそのものは除去できません。
PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。
ユーティリティー
| 電力 |
|---|
| AC100V／15A以下 |
システム構成
- ・特殊薬剤を充填した処理カラムと有毒ガスを吸引するためのブロワーユニットより構成されます。
- ・処理カラムとブロワーは分離されており、排ガス処理時はブロワーユニット上に処理カラムを載せ、配管を接続して使用します。
- ・排気ラインは2系列あり、バルブ操作にて低・高吸引の2段階風量に調整することが出来ます。
システムフロー図（使用例） エッチング装置、チャンバー開放時の有毒ガス処理
