概要

カンデンエフトールR型は、排ガス中に含まれるNF3を不燃性特殊薬剤を充填したカートリッジに通すことで、一段で効果的に分解処理できる安全性の高い装置です。

特長

• ・NF3濃度を許容濃度（10ppm）以下にします。
• ・排ガスは窒素と酸素成分のみとなります。
• ・不燃性の特殊薬剤を使用しており安全です。
• ・運転スイッチONで完全自動運転されます。

ユーティリティー

オプション機器

• ・2筒切替式で連続運転可能なタイプもございます。
• ・小型機種（最大流量30ℓ/min）もございます。