シリーズ別ラインナップ
エフトール シリーズ別ラインナップ
カンデンエフトール排ガス処理装置は、排ガス中の有害成分を化学反応と物理吸着で無害化する処理装置です。
コンパクトでユーティリティーを抑えた設計となっています。
A型シリーズ
【コンパクト・高性能】
半導体製造プロセスから排出される各種有害ガスを安全に除害する乾式排ガス処理装置。収納キャビネットの製作も承ります。
D型シリーズ
【コンパクト・低コスト】
排ガス中の有害成分を低コストで安全に除害する小型乾式排ガス処理装置。真空下での処理も可能です。
F型
【大流量対応・緊急除害用】
シリンダーキャビネットの緊急時など大流量の処理が可能な装置。
SC型
【簡易乾式排ガス処理装置】
半導体・液晶製造装置のメンテナンス時に発生する有毒ガスを処理し、作業環境の悪化を防止する装置。
R型
【NF3除害専用】
排ガス中のNF3を特殊薬剤で効果的に分解処理する安全性の高い装置。
CLF3型
【CℓＦ3除害専用】
常温クリーニングガスとして幅広く利用されるCℓＦ3排ガスを安全に処理する不燃性薬剤による乾式排ガス処理装置。
P型
【重電向けSF6精製用】
変圧器・遮断器等の重電機器に欠かせない電気絶縁ガスとして使用されるSF6の精製リサイクル向け乾式排ガス処理装置。
半導体材料ガス容器収納筒
【漏洩容器緊急収納用】
災害防止のためのフッ素ガス用耐圧容器収容筒。
