概要

当社では、フッ素ガス並びにフッ素系特殊ガスを提供して参りましたが、この間に蓄積した特殊ガス取扱技術をまとめ、災害防止のための半導体材料ガス容器収納筒をご用意しております。
ガス充填容器からガス漏洩した容器を、直接本収納筒に収容し、ガス拡散による災害を防止することを目的とした緊急時対応の装置です。

特長

• ・47ℓ型標準タイプボンベまたはそれ以下のサイズをそのまま収容できます。
• ・材質及び構造は、耐食性を十分備えております。
• ・車輪が装備され、現場での応急処置が可能です。
• ・本体に弁が装備されているので、内部ガスの回収及び処理が容易に行えます。

標準仕様

オプション機器

• ・内部圧力の確認が容易な圧力計を取り付け可能です。