関東電化工業株式会社 関東電化工業株式会社 カンデン エフトール

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エフトール F型

概要

カンデンエフトールF型は、シリンダーキャビネットの緊急時およびエキシマレーザー排ガス処理時など大流量の処理が可能な高性能乾式排ガス処理装置です。
常温で化学反応および物理吸着により排ガス中の有害ガス濃度を許容濃度以下にします。

特長

  • ・排ガスを化学反応で処理するため有害ガスの再離脱がありません。
  • ・有害で反応性の高いフッ素化合物を活性の強い薬剤との化学反応で迅速に除去します。
  • ・化学反応性の低い排ガス成分や化学反応二次生成物を物理吸着により確実に捕捉します。
  • ・薬剤の交換時期が確認できるインジケータを装備しています。
  • ・低圧力損失です。
  • ・不燃性の特殊薬剤を使用しており安全です。

標準仕様

型式 F型
最大流量
(希釈窒素含む)
3000ℓ/min
寸法 565㎜φ×975㎜H
総重量 約135Kg
接続 90Aフランジ(*)
対象ガス フッ素系ガス
塩素系ガス
臭素系ガス等
  • (*) 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
  • ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
  • ※エフトールF型では、PFCそのものは除去できません。
    PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。

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【シリーズ別ラインナップ】
A型シリーズ
D型シリーズ
F型
SC型
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CLF3型
P型
半導体材料ガス容器収納筒