シリーズ別ラインナップ
エフトール D型シリーズ
概要
カンデンエフトールD型シリーズは、多くの要因を考慮し設計されたコンパクトで高性能な乾式処理装置です。
常温で化学反応および物理吸着により排ガス中の有害ガスを許容濃度以下にします。
特長
- ・イニシャルコストを低減した小型の装置です。
- ・不燃性の特殊薬剤を使用しており安全です。
- ・減圧系でのご使用が可能ですので、真空ポンプの保護にもなります。
- ・装置内に生成した粒子の除去（フィルター効果）もできます。
標準仕様
| 型式 | D-01 | D-02 | D-05 |
|---|---|---|---|
| 最大流量 （希釈窒素含む） |
50ℓ/min | 250ℓ/min | 250ℓ/min |
| 寸法 | 45㎜φ×500㎜H | 165㎜φ×390㎜H | 165㎜φ×320㎜H |
| 総重量 | 約1.6Kg | 約13Kg | 約12Kg |
| 接続 | 3/8インチ VCR（＊） | NW25（＊） | 1/2インチ VCR（＊） |
| 対象ガス | F2、Cℓ2等のハロゲンガス およびHF、HCℓ等の 酸性ガス |
HF、F2、COF2、XeF2、Cℓ2、 Br2等 |
エキシマレーザー排ガス等 （HF、F2、SiF4等） |
| 備考 | 薬剤交換可能 | 薬剤交換可能 | 薬剤交換可能 インジケータ付 |
- （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
- ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
- ※エフトールD型シリーズではPFCそのものは除去出来ません。
PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。
オプション機器
- ・使い捨てタイプのD-01、D-02型も製作いたします。（使用後の廃棄処分も承ります。）
- ・D-01・D-02型は、インジケータを外付で取り付け可能です。
エフトール DC型
概要
カンデンエフトールDC型は、環境負荷の少ないクリーニングガスCOF2のボンベ交換時に、配管内の残留ガスを許容濃度以下にする乾式排ガス処理装置です。
特長
- ・化学反応による処理ですので再脱離がありません。
- ・薬剤寿命の検知は色相インジケータにより管理します。
- ・出口排ガスのほとんどは、不活性ガスです。
- ・コンパクトで取り付けは簡単です。
標準仕様
| 型式 | DC型 |
|---|---|
| 最大流量 （希釈窒素含む） |
60ℓ/min |
| 寸法 | 300㎜W×300㎜D×1000㎜H |
| 総重量 | 約50Kg |
| 接続 | NW25（＊） |
| 対象ガス | F2、HF、SiF4、COF2等 酸性、酸化性ガス |
- （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
- ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
- ※エフトールDC型では、PFCそのものは除去できません。
PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。
ユーティリティー
| 電力 | N2（パージ用） | 筐体排気 |
|---|---|---|
| AC100V／5A | 5ℓ/min | 0.5m³/min |