シリーズ別ラインナップ
エフトール CLF3型
概要
カンデンエフトールCLF3型は、常温クリーニングガスとして幅広く利用されるCℓF3の排ガスを高性能吸着剤により連続して無害化・安定化させ安全に処理する乾式排ガス処理装置です。
特長
- ・有害で反応性の高いフッ素化合物及び塩素化合物を活性の強い薬剤との化学反応で迅速に除去します。
- ・不燃性で再離脱を生じない特殊薬剤を使用しており安全です。
- ・薬剤の使用状況は、インジケータの色相変化により目視できます。
標準仕様
| 型式 | CLF3型 |
|---|---|
| 最大流量 | 60ℓ/min |
| 寸法 | 650㎜W×650㎜D×1960㎜H |
| 総重量 | 約450Kg |
| 接続 | NW25（＊） |
| 対象ガス | CℓF3、F2、Cℓ2、HF、 SiF4、HCℓ等 ハロゲン系ガス |
- （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
- ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
- ※エフトールCLF3型では、PFCそのものは除去できません。
PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。
ユーティリティー
| 電力 | 窒素（パージ用） |
|---|---|
| AC100V／5A | 60ℓ/min |
オプション機器
- ・薬剤の破過をモニターできる検知器付タイプもございます。
