シリーズ別ラインナップ
エフトール A型シリーズ
概要
カンデンエフトールA型シリーズは、半導体産業等で広く行われているフッ素系・塩素系ガス等によるエッチングや、オゾンによるアッシング時に発生する排ガス中の有害成分を、化学反応および物理吸着により無害化・安定化させ除去するコンパクトで高性能な乾式排ガス処理装置です。
特長
- ・処理した有害ガスは、再離脱しないように工夫されています。
- ・インジケータは2段になっており、薬剤の使用状況、メンテナンス時期の確認が簡単にできます。
- ・電力および冷却水等のユーティリティーは不要です。
- ・一台で多種類のガス処理が可能、処理対象ガスの変更も可能です。
- ・シンプルな構造であり、取り扱いが容易です。
標準仕様
| 型式 | A-I | A-II | A-III |
|---|---|---|---|
| 最大流量 （希釈窒素含む） |
30ℓ/min | 30ℓ/min | 100ℓ/min |
| 寸法 | 422㎜φ×935㎜H | 340㎜W×340㎜D×970㎜H | 500㎜W×400㎜D×1330㎜H |
| 総重量 | 約80Kg | 約80Kg | 約220Kg |
| 接続 | NW50（＊） | NW50（＊） | NW50（＊） |
| 対象ガス | F2、HF、SiF4、COF2、SF4、 SOF2、SO2、BF3、CℓF3、 C4F6、C5F8、O3、WF6等 金属化合物 |
Cℓ2、HCℓ、BCℓ3、 Br2、HBr、SiCℓ4、O3等 |
A-I型及びA-II型と同種 |
- （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
- ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
- ※エフトールA型シリーズではPFCそのものは除去出来ません。
PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。
オプション機器
- ・エフトールA型用キャビネット（1筒式、2筒式）も各種取り揃えております。
- ・2筒切換式で連続運転が可能なタイプもございます。
Ａ‐I型フロー図（使用例）
エフトール AC型
概要
カンデンエフトールAC型は、高選択性エッチングガスとして注目されているC4F6排ガスを加熱なしで安全に処理する乾式排ガス処理装置です。
常温で化学反応および物理吸着により排ガス中の有害ガス濃度を許容濃度以下にします。
特長
- ・不燃性の特殊薬剤を使用しており安全です。
- ・吸着したC4F6を再離脱しない高性能吸着剤です。
- ・エッチング過程で発生するHF・SiF4・F2等、酸性・酸化性ガスも同時除去します。
- ・副生成物がないクリーンな装置です。
- ・薬剤の消費状況は、インジケータ剤およびロードセルで管理できます。
標準仕様
| 型式 | AC型 |
|---|---|
| 最大流量 （希釈窒素含む） |
30ℓ/min |
| 寸法 | 500㎜W×500㎜D×1500㎜H |
| 総重量 | 約230Kg |
| 接続 | NW40（＊） |
| 対象ガス | C4F6、C5F8、HF、F2等 |
- （＊） 接続口サイズについては、別途ご相談下さい。
- ※上記表中に記載されていないガスは、別途問い合わせ・ご相談ください。
- ※エッチング時に生成するPFCそのものは除去出来ません。
PFCそのものを処理する場合は、PFC分解システムをご参照ください。
ユーティリティー
| 電力 | N2（パージ用） | CO処理用O2 | 冷却水 | 筐体排気 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
30ℓ/min | 3ℓ/min | 5ℓ/min | 1m³/min |
オプション機器
- ・自動バルブ・ガス検知器等については、別途お問合わせ、ご相談下さい。
- ・2筒切換式で連続運転が可能なタイプもございます。
- ・CO処理器を組み込んだ仕様もございます。
ＡＣ型フロー図（使用例） 触媒式ＣＯ処理機能付
