シリーズ別ラインナップ
プロセス別ラインナップ
処理対象プロセスガスに応じて最適な機種を選定することにより高効率な除去性能を発揮し、各種有害成分を化学的・物理的に処理し、排ガス中の多種有害物質を取り除きます。
CVD
| ●PFC | >> A型シリーズ |
|---|---|
| ●CℓF3 | >> F型 |
| ●PZT | >> SC型 |
| ●SBT | >> R型 |
| ●NF3 | >> CLF3型 |
| ●Aℓ | >> PFCプラズマ分解システム |
| ●Cu | >> PFC化学熱分解システム |
| etc. | >> MOCVD排ガス処理システム |
プロセス別対応機種一覧
※上記表中に記載されていないガスは、別途お問い合わせ下さい。
※上記表は、単体ガスとして分類致しました。数種類のガスをご検討の際は、ご相談下さい。
※エフトールを収納するキャビネットの製作も承ります。
標準外仕様について
カンデン エフトールシリーズは、標準外仕様につきまして各種のご要望にお応えできます。
お気軽にお問い合わせ・ご相談ください。
