シリーズ別ラインナップ

• A型シリーズ
• D型シリーズ
• F型
• SC型
• R型
• CLF3型
• P型
• 半導体材料ガス容器収納筒

システム別ラインナップ

• PFCプラズマ分解システム
• PFC化学熱分解システム
• MOCVD排ガス処理システム

プロセス別ラインナップ

• エッチング
• アッシング
• CVD
• ベント排気
• 分析
• 露光
• SF6分解ガス
• 対応機種一覧

半導体・液晶産業向け高純度フッ素系特殊ガスの製造販売で長い歴史を持つ当社が、ガス精製処理技術を活かし安全で取り扱い性に優れる排ガス処理装置「カンデンエフトール」シリーズを提供しております。
フッ素系ガスのリーディングカンパニーとして蓄積した技術でフッ素・塩素を含むハロゲンガスはもちろん、その他有害性ガスの処理についてもご相談にお応えしております。